SC—50型金属工艺用离子注入机的离子源、加速管及靶室

本文介绍了SC—50型金属工艺用离子注入机。主要讨论引出氮离子靶上达5mA 的改进潘宁型离子源,不对称三电极加速系统,具有旋转和升降机械扫描的大型靶室。