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| 超短脉冲激光烧蚀熔融硅的理论模型 | |
| 作者姓名： | 孙元征 林晓辉 陈云飞 |
| 作者单位： | [1]东南大学机械工程学院,南京211189 [2]东南大学MEMS教育部重点实验室,南京210096 |
| 摘 要： | 在Fokker_Planck方程的基础上,对超短脉冲激光烧蚀熔融硅的机理进行分析研究,建立了雪崩电离、多光子吸收电离导致的熔融硅烧蚀机理的数学模型。其计算得出的激光能量密度和临界烧蚀阀值与实验结果很好的吻合,定量解释了超短脉冲激光对熔融硅烧蚀损伤微观过程的影响。 |
| 关 键 词： | 超短脉冲激光 烧蚀 雪崩电离 多光子吸收电离 |
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