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| 硅上硅化钛相变和生长动力学研究 | |
| 作者姓名： | 胡仁元 王忠烈 刘伊犁 谢葆珍 |
| 作者单位： | 北京师范大学低能核物理研究所，北京师范大学低能核物理研究所，北京师范大学低能核物理研究所，中国科学院高能物理研究所 |
| 摘 要： | 用RBS及X线衍射研究了硅上钛薄膜退火时形成硅化物的相变和生长动力学。650℃退火形成TiSi_2相,TiSi_2层生长服从Kidon抛物线层生长规律。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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