| 用对称稜镜耦合器精确测定薄膜参数的方法 |
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| 引用本文： | 徐德维.用对称稜镜耦合器精确测定薄膜参数的方法[J].科学通报,1979,24(16):731-731. |
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| 作者姓名： | 徐德维 |
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| 作者单位： | 中国科学院吉林物理研究所 |
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| 摘 要： | 光波耦合器的出现是导波光学发展中的重要成就之一。它是向波导薄膜馈送和取出光能、选择激发波导模式、多种导波光学器件基本实验研究以及精确测量波导薄膜参数的不可缺少的重要器件。
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A METHOD FOR ACCURATE MEASUREMENT OF THIN FILM PARAMETERS BY SYMMETRICAL PRISM WAVE COUPLERS |
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| Abstract: | A method for measuring and calculating thin-film parameters by means of symmetrical prism wave couplers is studied. It is believed that the method will help rapid and accurate determination of the refractive index and the thickness of dielectric films in the fields of guided wave optics and semiconductor technology. |
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