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应变致价带分裂对p型Si_(1-x)Ge_x应变层中重掺杂禁带窄变的影响
引用本文:吴文刚,罗晋生.应变致价带分裂对p型Si_(1-x)Ge_x应变层中重掺杂禁带窄变的影响[J].西安交通大学学报,1995(10).
作者姓名:吴文刚  罗晋生
摘    要:针对应变Si(1-x)Gex的应变致价带分裂及重掺杂对裂值的影响,提出了该合金价带结构的等价有效简并度模型和有关算法,模型中考虑了非抛物线价带结构。应用这个模型,计算了赝形生长在<100>Si衬底上的p型Si(1-x)Gex应变层的重掺杂禁带窄变,发现当杂质浓度超过约2×1019cm(-3)后它在某一Ge组分下得到极大值,而当掺杂低于此浓度时它则随Ge组分的增加单调下降,与实验报道的对比证实了本模型的有效性。

关 键 词:锗硅合金,应变,重掺杂,能带结构

EFFECTS OF STRAIN INDUCED SPLITTING OF VALENCE BAND ON THE BANDGAP NAROWING DUE TO HEAVY DOPING IN p-TYPE STRAINED SI(1-X) Gex LAYERS
Wu Wengang,Luo Jinsheng.EFFECTS OF STRAIN INDUCED SPLITTING OF VALENCE BAND ON THE BANDGAP NAROWING DUE TO HEAVY DOPING IN p-TYPE STRAINED SI(1-X) Gex LAYERS[J].Journal of Xi'an Jiaotong University,1995(10).
Authors:Wu Wengang  Luo Jinsheng
Institution:School of Electronics and Information Engineering
Abstract:
Keywords:SiGe alloy strain heavy doping band structure
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