|
|||||
|
|
| 混合产品的合成前馈/反馈批间控制方法 | |
| 引用本文： | 郑英,艾兵,张杰,王彦伟.混合产品的合成前馈/反馈批间控制方法[J].华中科技大学学报(自然科学版),2009,37(6). |
| 作者姓名： | 郑英 艾兵 张杰 王彦伟 |
| 作者单位： | 郑英,艾兵,张杰(华中科技大学,控制科学与工程系,湖北,武汉,430074);王彦伟(华中科技大学,CAD中心,湖北,武汉,430074) |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
| 摘 要： | 针对循环生产的半导体双产品制造过程提出了一种新的控制方法.此方法采用前面批次的参数估计机台漂移,机台干扰由前馈和未来批次的反馈控制综合决定.得到了系统输出和其渐进期望方差误差,并证明了渐进期望方差误差与不同产品的间隔无关.仿真结果表明这种方法是有效的. |
| 关 键 词： | 半导体生产 控制策略 批间控制 前馈控制 反馈控制 |
Combinatory feed-forward/feedback run-to-run control of mixed products |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |