| 一种全息光栅曝光系统结构 |
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| 引用本文： | 撖芃芃. 一种全息光栅曝光系统结构[J]. 吉林工学院学报, 2014, 0(6): 639-644 |
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| 作者姓名： | 撖芃芃 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春,130033 |
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| 基金项目： | 吉林省科技发展计划项目(20126012)；吉林省科技厅青年科研基金项目 |
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| 摘 要： | 采用双透镜组的结构引入补偿镜,使工作波长和装调波长共像面。采用有限元分析方法对机械系统的设计结果进行模态分析,结果表明,该曝光系统具有较高的波前质量和系统稳定性。
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| 关 键 词： | 全息光栅 波前质量 模态分析 稳定性 |
A hoIographic grating exposure system structure |
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| HAN Peng-peng. A hoIographic grating exposure system structure[J]. Journal of Jilin Institute of Technology, 2014, 0(6): 639-644 |
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| Authors: | HAN Peng-peng |
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| Affiliation: | HAN Peng-peng (Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130033, China) |
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| Abstract: | Pair lens are applied in the optical system and the compensate lens are introduced to make the operation wavelength match the assemble wavelength .With finite element analysis ,we design the mechanical structure and analyze the modes . The results show that holographic grating exposure system is with high quality wave‐front and stability . |
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| Keywords: | holographic grating quality of wave-front mode analysis stability |
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