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| 超纯水制备工艺及设备的研究 | |
| 作者姓名： | 余方智 孙智育 王了辽 |
| 作者单位： | 中联西北工程设计研究院/陕西昕宇表面工程有限公司,陕西 西安,710082 |
| 摘 要： | 随着光伏、电子产业的快速发展，对工业用水的要求越来越高，本文系统介绍了18M超纯水制备的工艺及设备，采用反渗透水＋电去离子（EDI）设备进行搭配的方式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保、经济、发展潜力巨大的超纯水制备工艺。 |
| 关 键 词： | 超纯水 工艺流程 电去离子(EDI)设备 反渗透 混床离子交换 |
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