硅扩展电阻温度传感器的试制 |
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引用本文: | 刘百勇
,陈斗南
,杨炳良
,姚国兴
,刘力
,曾绍洪.硅扩展电阻温度传感器的试制[J].华南理工大学学报(自然科学版),1987(2). |
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作者姓名: | 刘百勇 陈斗南 杨炳良 姚国兴 刘力 曾绍洪 |
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摘 要: | 1.一般介绍由于集成电路在控制系统中的应用日益增长,极大地刺激电子传感器的迅速发展.近年来电子敏感器件的研制进展非常迅速,半导体传感器便是其中一类相当引人注目的电子敏感器件.当前,有些半导体敏感器件已相当成熟,且进入了集成化,但有些仍为分立元件,不少元器件的性能不尽成熟,甚至不少领域仍未被开发.半导体扩展电阻温度传感器便
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