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| 溶液法制备氧化铝介质层的非晶铟锌氧化物薄膜晶体管 | |
| 引用本文： | 庞抒见,浦海峰,张群.溶液法制备氧化铝介质层的非晶铟锌氧化物薄膜晶体管[J].复旦学报(自然科学版),2014(6). |
| 作者姓名： | 庞抒见 浦海峰 张群 |
| 作者单位： | 复旦大学材料科学系; |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(61136004,61071005);教育部博士点基金资助项目(20110071110010) |
| 摘 要： | 采用旋涂法制备了氧化铝栅介质层薄膜.通过XRD和AFM分析表征了薄膜的结晶性和表面平整性.分光光度计测试表明薄膜在可见光范围的平均透射率大于85%.采用MIM结构研究其漏电流密度,在电场强度为1MV/cm时仅为3×10-9 A/cm2,表明可以用作栅介质层.以旋涂法涂覆的a-IZO薄膜为沟道层、旋涂法涂覆的氧化铝为介质层,制备了底栅结构的氧化物薄膜晶体管.测试表明该薄膜晶体管工作在n型沟道增强型模式,器件场效应迁移率为1.4cm2/(V·s),电流开关比约为105,阈值电压为2.2V,显示出相对较好的器件性能. |
| 关 键 词： | 氧化铝 介质层 薄膜晶体管 旋涂法 |
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