| MEMS光纤压力传感器压力膜片的仿真与分析 |
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| 作者姓名： | 祝彦 潘亚涛 刘光辉 李小亭 |
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| 作者单位： | 河北大学质量技术监督学院,河北保定071002;河北大学物理科学与技术学院,河北保定071002,河北大学质量技术监督学院,河北保定071002,河北省保定市交通运输局公路设备维护处,河北保定071000,河北大学质量技术监督学院,河北保定071002 |
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| 基金项目： | 教育部春晖计划;河北省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 阐述了一种使用周边固定的圆形膜片的反射式强度调制型MEMS光纤压力传感器的工作原理,在现有外界压力下的膜片应力、应变及固有频率公式的基础上,推导了膜片应力、应变和固有频率三者随传感器尺度变化的一般规律.利用有限元分析软件ANSYS对推演出的规律仿真模拟和分析,验证了此规律的正确性和普适性,同时修正分析模型,总结了理论公式与实际应用之间的联系与区别.
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| 关 键 词： | 圆形膜片 光纤压力传感器 有限元分析 修正模型 |
| 收稿时间： | 2019-01-01 |
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