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| 室温基底溅射沉积c轴取向ZnO薄膜 | |
| 作者姓名： | 张燕陵 |
| 作者单位： | 中国科学院等离子体物理研究所 合肥230031 |
| 摘 要： | c轴取向氧化锌(ZnO)薄膜具有较强的压电和压光效应,常常用于声电、声光装置。在体声波(BAW)方面,如用于超声显微镜和薄膜谐振器等;在声表面波(SAW)方面,作为一种传输和相干材枓,它用作滤波器、卷积器、放大器、图象扫描以及谐振器;在导向光波(GOW)中,ZnO薄膜也广泛应用于声光和电光装置和二次谐波发生器等。 |
| 关 键 词： | 氧化锌 薄膜 等离子体 溅射 沉积 |
| 收稿时间： | 1992-04-21 |
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