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低温等离子体的产生及应用
引用本文:
杨孝龙,王振杰,黄运添.低温等离子体的产生及应用[J].渭南师专学报(自然科学版),1996,11(2):11-16.
作者姓名:
杨孝龙
王振杰
黄运添
摘 要:
本介绍了低温等离子体的产生方法、产生机理以及低温等离子体在微电子工业、新型材料、加工技术和高分子材料改性等领域的最新应用。
关 键 词:
低温等离子体
微电子工业
新型材料
高分子材料
微波放电
高频放电
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