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以LaNiO3作为底电极的Pb(Zr0.3,Ti0.7)O3铁电薄膜的性能研究
引用本文:李亚巍,张伟风,孟祥建,孙璟兰,王根水,褚君浩.以LaNiO3作为底电极的Pb(Zr0.3,Ti0.7)O3铁电薄膜的性能研究[J].河南大学学报(自然科学版),2003,33(1):23-26.
作者姓名:李亚巍  张伟风  孟祥建  孙璟兰  王根水  褚君浩
作者单位:1. 河南大学物理与信息光电子学院,开封,475001
2. 中国科学院上海技术物理所红外物理国家实验室,上海,200083
摘    要:采用溶胶-凝胶法在Si(100)衬底上制备了LaNiO3薄膜,采用相同方法在LaNiO3/Si(100)上制备了Pb(Zr0.3,Ti0.7)薄膜,对LaNiO3薄膜和Pb(Zr0.3,Ti0.7)O3薄膜的结晶性,表面形貌和电性能进行了研究。

关 键 词:溶胶-凝胶法  铁电薄膜  LaNiO3  PZT
文章编号:1003-4978(2003)01-0023-04

The study of the Pb( Zr0.3, Ti0.7) O3 ferroelectric thin films with the LaNiO3 thin films as the bottom electrode
Abstract:
Keywords:sol-gel  ferroelectric  thin films  LaNiO_3  PZT
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