| 温度自补偿微波测厚传感器的研制 |
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| 引用本文： | 杨进成. 温度自补偿微波测厚传感器的研制[J]. 厦门大学学报(自然科学版), 1988, 0(2) |
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| 作者姓名： | 杨进成 |
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| 作者单位： | 厦门大学物理学系 |
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| 摘 要： | 根据介质微扰腔体的原理,研制了一种用于无接触测量可塑性薄膜厚度和具有温度?补偿的新型微波传感器。文中阐述了实现温度自补偿的方法并导出了公式,实验结果表明:分析的主要误差与直接测量(0.0012μm/℃)非常吻合,量程为0—100μm,分辨为<0.2μm。
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| 关 键 词： | 温度自补偿 微波 测厚传感器 |
Development of the Microwave Thickness Measurement Sensor with Temperature Self-Compensation |
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| Yang Jincheng. Development of the Microwave Thickness Measurement Sensor with Temperature Self-Compensation[J]. Journal of Xiamen University(Natural Science), 1988, 0(2) |
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| Authors: | Yang Jincheng |
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| Affiliation: | Dept. of Phys. |
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| Keywords: | microwave Thickness measurement sensor Temperature self-compensation |
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