两步扩散法提高Si太阳电池效率的研究

提出先高温恒定源扩散后再低温恒量扩散的两步扩散法制作Ｓｉ背面场太阳电池的新工艺，与常规的一步恒定源扩散工艺比较，所制作的太阳电池短路电池Ｉｓｃ提高了约２０％，开路电压Ｖｏｃ也有明显的改善，光电转换效率提高了近４％。