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| 利用脉冲激光剥蚀技术制备PZT铁电薄膜 | |
| 引用本文： | 白铁城,徐静平.利用脉冲激光剥蚀技术制备PZT铁电薄膜[J].华中理工大学学报,1999,27(4):40-42. |
| 作者姓名： | 白铁城 徐静平 |
| 摘 要： | 利用脉冲激光剥蚀技术在抛光的硅片上制备出了Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３铁电薄膜，经过淀积后的激光退火工艺，大大改善了这种膜的铁电性，研究了影响薄膜性能的多种因素，利用Ｘ射线衍射，分析了薄膜的结构，测量了薄膜的居里温度和电滞回线。 |
| 关 键 词： | 铁电薄膜 激光剥蚀 PZT薄膜 钙钛矿结构 |
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