Ti—Al—N系功能梯度薄膜结合强度的研究

研究了成分梯度对Ｔｉ－Ａｌ－Ｎ系功能梯度薄膜结合强度的影响，实验结果表明：Ｔｉ－Ａｌ－Ｎ系功能梯度薄膜的结合强度高于均质薄膜，且随着梯度的增加结合强度逐渐增加，这是由于梯度能够缓和应力以及薄膜中残余应力降低的缘故。