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| 共路移相剪切干涉测量仪的研制 | |
| 引用本文： | 刘晓军,章明中.共路移相剪切干涉测量仪的研制[J].华中理工大学学报,1999,27(3):16-18. |
| 作者姓名： | 刘晓军 章明中 |
| 作者单位： | [1]华中理工大学机械科学与工程学院 [2]原大学机械系 |
| 摘 要： | 介绍一种用于非球面面形测量的剪切干涉仪。仪器采用新型剪切发生器，可实现完全共光路和分步相移干涉，其结构简单，有较好的抗干扰性、稳定性和可靠性，实验结果表明、仪器重复性达到λ／５０。 |
| 关 键 词： | 共光路 移相 剪切干涉仪 非球面测量 干涉仪 |
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