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铁电薄膜开关特性测量
作者姓名:曾亦可
摘    要:对铁电薄膜的开关特性进行了分析,介绍了利用美国HP4192A低频阻抗分析仪设计铁电薄膜开关特性测量仪的方法,讨论了测量原理以及如何利用测量仪所产生的双极性双脉冲对铁电薄膜的开关特性进行了测量,给出了有关PZT(55/45)铁电薄膜样品的测量结果。

关 键 词:铁电薄膜 开关特性 测量 铁电存储器
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