用于高频磁阻抗效应的软磁薄膜研究

讨论了用高频磁阻抗效应传感技术的ＮｅＦｅ软磁薄膜制备和薄膜单轴各向异性产生方法及机理，用射频磁控溅射法在几十ｋＡ／ｍ磁场定向下制备出具有一定单轴各向异性的Ｎｉ８１Ｆｅ１９软磁薄膜，并对所测得的薄膜各种磁化曲线进行了分析。