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| PLT15薄膜热释电红外传感器的研制 | |
| 作者姓名： | 曾亦可 刘梅冬 |
| 摘 要： | 用射频磁控溅射法在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ（１００）结构衬底上沉积了高度Ｃ轴取向Ｌａ改性的ＰｂＴｉＯ３（ＰＬＴ１５）的薄膜，研究了ＰＬＴ１５薄膜的电晕极化方法，用此方法同时对多个热释电敏感单元进行了极化，利用ＰＬＴ１５薄膜制备了热释电红外感器，薄膜厚度是２μｍ，真空蒸发的Ｎｉ－Ｃｒ电极面积为１．２ｍｍ×１．０ｍｍ，敏感元一的Ｓｉ（１００）基片用热ＫＯＨ和ＥＰＷ进行刻蚀，用所设计的热释电系统测试系 |
| 关 键 词： | 射频磁控溅射 热释电性 红外传感器 铁电薄膜 |
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