| Al-Cl-N-H体系化学气相淀积AIN粉末的热力学研究 |
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| 引用本文： | 李春忠,胡黎明,姚光辉,袁渭康,陈敏恒. Al-Cl-N-H体系化学气相淀积AIN粉末的热力学研究[J]. 华东理工大学学报(自然科学版), 1992, 0(4) |
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| 作者姓名： | 李春忠 胡黎明 姚光辉 袁渭康 陈敏恒 |
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| 作者单位： | 华东化工学院技术化学物理研究室国家重点固定床反应工程实验室(李春忠，胡黎明，姚光辉，袁渭康)，华东化工学院技术化学物理研究室国家重点固定床反应工程实验室(陈敏恒) |
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| 摘 要： | 给出了Al-Cl-N-H体系的一组关联反应,探讨了化学气相淀积过程的关联反应热力学特性。根据Gibbs自由焓最小的原则,研究了Al-Cl-N-H体系的平衡组成。Al-Cl-N-H体系合成AlN超细粒子粉末的最佳温度为600～1200℃,AlN平衡得率和体系的初始组成有关,AlCl_2和AlCl的平衡得率随温度的升高而增大。
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| 关 键 词： | 氮化铝 化学气相淀积 平衡组成 吉布斯自由焓 热特性 选优 超细粒子 |
Thermodynamic Study of AlN Powder Synthesis by CVD of Al-Cl-N-H System |
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| Li Chunzhong,Hu Liming,Yao Guanghui,Yuan Weikang Chen Minheng. Thermodynamic Study of AlN Powder Synthesis by CVD of Al-Cl-N-H System[J]. Journal of East China University of Science and Technology, 1992, 0(4) |
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| Authors: | Li Chunzhong Hu Liming Yao Guanghui Yuan Weikang Chen Minheng |
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| Affiliation: | Technical Chemical Physics Laboratory |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | aluminium ni tride chemical vapor deposition equilibrium composition Gibbs free energy thermal properties optimization ultrafine particles |
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