| 软紫外光压印光刻的模具制造研究 |
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| 引用本文： | 秦歌,丁玉成,刘红忠.软紫外光压印光刻的模具制造研究[J].西安交通大学学报,2008,42(7). |
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| 作者姓名： | 秦歌 丁玉成 刘红忠 |
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| 作者单位： | 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,710049,西安 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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国家高技术研究发展计划(863计划)
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国家重点基础研究发展计划(973计划)
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陕西省自然科学基金
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陕西省西安市科技计划 |
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| 摘 要： | 在软紫外光压印光刻中,提出以光刻胶为母版材料翻制聚二甲基硅氧烷软模具的工艺方法,并把图型母版材料对软模具制造过程的影响进行了实验研究.研究表明,软模具图型质量仅和浇铸过程的充型压力有关,在0.05 Pa的真空压力下充型,光刻胶母版图型强度足够抵抗充型压力,所翻制的软模具复型精度为(97.24±0.60)%,复型精度方差为0.376%,在翻制软模具50次后,光刻胶母版图型无明显扭曲变形和缺损、污物.因此,采用光刻胶作为母版图型材料,不仅可以满足工艺精度的要求,而且可以提高生产率、降低生产成本.
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| 关 键 词： | 光刻胶 母版材料 软模具 紫外光 压印光刻 模具 制造研究 Nanoimprint Lithography Soft Fabrication 生产成本 高生产率 工艺精度 污物 缺损 变形 差为 复型 充型压力 抵抗 强度 真空压力 压力有关 |
Template Fabrication on Soft Ultravialet Nanoimprint Lithography |
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| QIN Ge,DING Yucheng,LIU Hongzhong.Template Fabrication on Soft Ultravialet Nanoimprint Lithography[J].Journal of Xi'an Jiaotong University,2008,42(7). |
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| Authors: | QIN Ge DING Yucheng LIU Hongzhong |
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| Abstract: | |
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