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| 溅射偏压对Cu膜屈服强度的影响 | |
| 引用本文： | 王飞,徐可为.溅射偏压对Cu膜屈服强度的影响[J].自然科学进展,2003,13(12):1334-1337. |
| 作者姓名： | 王飞 徐可为 |
| 作者单位： | 西安交通大学金属材料强度国家实验室,西安,710049 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(批准号:59931010) |
| 摘 要： | 用高真空磁控溅射在Si片上沉积纯Cu膜,通过纳米压入实验得到薄膜硬度和弹性模量,模型和数值计算相结合得到薄膜屈服强度.结果表明溅射偏压对薄膜屈服强度影响较大,可以使薄膜在比较厚的情况下得到和数百纳米厚的薄膜相似的高屈服强度.其主要原因是溅射偏压改变了薄膜的晶粒取向和晶粒尺寸. |
| 关 键 词： | Cu 纳米压入 薄膜 屈服强度 |
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