| 改进型振动轮式硅微机械陀螺仪的研究 |
| |
| 引用本文： | 周顺,张燕娥,蔡体菁,周百令,王寿荣.改进型振动轮式硅微机械陀螺仪的研究[J].东南大学学报(自然科学版),1999,29(4):30-33. |
| |
| 作者姓名： | 周顺 张燕娥 蔡体菁 周百令 王寿荣 |
| |
| 作者单位： | 东南大学仪器科学与工程系 |
| |
| 摘 要： | 以Ｗ．Ｇｅｉｇｅｒ提出的改进型振动轮式微机械陀螺仪为研究对象，分析了结构参数其性能之间的内在联系，探讨了重力极及静电服力对它螺仪工作性能的影响，并以此为依据，提出音叉式驱动器叉指结构最佳间距的设计准则。
|
| 关 键 词： | 微机械陀螺仪 梳状电极驱动 振动轮式 硅 悬浮力 |
改进型振动轮式硅微机械陀螺仪的研究 |
| |
| Zhou Shun.改进型振动轮式硅微机械陀螺仪的研究[J].Journal of Southeast University(Natural Science Edition),1999,29(4):30-33. |
| |
| Authors: | Zhou Shun |
| |
| Institution: | Zhou Shun;(Department of Instrument Science
and Engineering, Southeast University, Nanjing 210096) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | micromechanical gyroscope comb drive electrode levitation optimal displacement |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
