| 溶胶-凝胶法制备ITO薄膜及其光电特性研究 |
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| 引用本文： | 潘洪涛,周炳卿,陈霞,李力猛.溶胶-凝胶法制备ITO薄膜及其光电特性研究[J].内蒙古师范大学学报(自然科学版),2008,37(5). |
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| 作者姓名： | 潘洪涛 周炳卿 陈霞 李力猛 |
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| 作者单位： | 内蒙古师范大学物理与电子信息学院,内蒙古呼和浩特010022 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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内蒙古师范大学研究生基金
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| 摘 要： | 以InCl3·4H2O和SnCl4·5H2O为主要原料,采用溶胶一凝胶法和旋转涂膜工艺,在玻璃基片上制备掺锡氧化铟透明导电薄膜(ITO).用紫外-可见透射光谱和四探针技术,研究了不同掺Sn量、不同热处理温度和热处理时间对薄膜光学和电学性能的影响.实验结果表明,最佳工艺条件为掺Sn量11%,热处理温度480℃,热处理时间60min.在最佳工艺条件下制备的ITO薄膜可见光透过率达82%以上,薄膜的方块阻为390Ω/□.
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| 关 键 词： | 掺锡氧化铟薄膜 溶胶-凝胶法 光电性能 方块电阻 |
Optical and Electrical Properties of ITO Thin Films Prepared by the Sol-Gel Method |
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| PAN Hong-tao,ZHOU Bing-qing,CHEN Xia,LI Li-meng.Optical and Electrical Properties of ITO Thin Films Prepared by the Sol-Gel Method[J].Journal of Inner Mongolia Normal University(Natural Science Edition),2008,37(5). |
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| Authors: | PAN Hong-tao ZHOU Bing-qing CHEN Xia LI Li-meng |
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