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| 微机械圆盘谐振器的结构分析 | |
| 作者姓名： | 郭建来 刘畅 王建艳 林杰 郭航 |
| 作者单位： | 厦门大学物理与机电工程学院萨本栋微米纳米科学技术研究院 |
| 基金项目： | 航空科学基金项目(2008ZH68002) |
| 摘 要： | 运用ANSYS对圆盘谐振器的结构进行有限元分析,并结合集总参数模型,确定了圆盘谐振器锚点尺寸与位置对圆盘谐振器性能的影响,包括谐振频率,振幅与品质因子(Q).在此基础上,提出了一种在圆盘谐振器高阶模式的节点环处做锚点的方案,不仅可以使圆盘谐振器工作在更高的谐振频率,同时也降低了微加工精度的要求. |
| 关 键 词： | 微机械圆盘谐振器 集总参数模型 有限元 锚点 品质因子 高阶谐振模式 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |