| 低频频率和O2含量对双频容性耦合等离子体Ar-O2放电的影响 |
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| 引用本文： | 蒋相站.低频频率和O2含量对双频容性耦合等离子体Ar-O2放电的影响[J].科学技术与工程,2014,14(1). |
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| 作者姓名： | 蒋相站 |
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| 作者单位： | 新疆工程学院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点项目(10635010);新疆工程学院科研基金(2011XGZ091312)资助 |
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| 摘 要： | 利用四极杆质谱仪研究了Ar/O2混合气体放电中低频频率和O2含量对离子能量分布和平均能量的影响。研究结果表明当低频频率增大时,离子能量逐渐由中频机制向高频机制变化,其能量分布的马鞍型双峰结构逐渐收缩,变得不明显。Ar+离子由于共振电荷交换的影响获得更多的低能离子,其平均能量比O2+离子的稍低。增大氧气含量,电离率增大,Ar+离子和O2+离子的高低能峰均向高能区移动,最大能量值逐渐右移。同等条件下的Ar+离子的平均能量均低于O2+离子。
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| 关 键 词： | 双频容性耦合等离子体 四极杆质谱 离子能量分布 平均能量 |
| 收稿时间： | 2013/6/18 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2013/7/19 0:00:00 |
The influence of low-frequency frequency and oxygen content in Ar-O2 Dual-frequency Capacitively Coupled Plasmas |
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| jiang xiang zhan.The influence of low-frequency frequency and oxygen content in Ar-O2 Dual-frequency Capacitively Coupled Plasmas[J].Science Technology and Engineering,2014,14(1). |
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| Authors: | jiang xiang zhan |
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