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| 脉冲激光溅射SnO2气敏膜￣① | |
| 引用本文： | 赵岩,冯钟潮,梁勇.脉冲激光溅射SnO2气敏膜￣①[J].云南大学学报(自然科学版),1997(1). |
| 作者姓名： | 赵岩 冯钟潮 梁勇 |
| 作者单位： | 中国科学院金属研究所 |
| 摘 要： | 脉冲激光溅射镀膜是一种高质量的薄膜制备技术，本文研究分别以ＳｎＯ２和纯锡作靶，用此技术生长的ＳｎＯ２膜的结构及对氢、乙醇的气敏性，探索将此技术应用于气敏膜制备的途径。 |
| 关 键 词： | 脉冲激光溅射，SnO2，气敏膜分类号TN304．21薄膜型传感器易于微型化、集成化，同半导体技术结合起来，制成性能稳定、低能耗、强功能的气敏器件，是气敏传感器的发展方向之一。制作薄膜气敏器件的关键技术之一是薄膜的生长技术。现在采用的有：蒸发法、溅射法、溶胶－凝胶（SO |
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