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直流热等离子体低压高速率合成金刚石薄膜

作者姓名：	王万录高锦英

作者单位：	兰州大学物理系兰州·730000(王万录，高锦英，廖克俊，任罡)，兰州大学物理系兰州·730000(邱文元)

摘要：
关键词：	金刚石薄膜等离子体直流热
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