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| 直流热等离子体低压高速率合成金刚石薄膜 | |
| 引用本文： | 王万录,高锦英.直流热等离子体低压高速率合成金刚石薄膜[J].兰州大学学报(自然科学版),1991,27(2):183-184. |
| 作者姓名： | 王万录 高锦英 |
| 作者单位： | 兰州大学物理系 兰州·730000 (王万录，高锦英，廖克俊，任罡)，兰州大学物理系 兰州·730000(邱文元) |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 金刚石 薄膜 等离子体 直流热 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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