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| PECVD氮化硅膜的制备及其红外光谱分析 | |
| 引用本文： | 李京娜.PECVD氮化硅膜的制备及其红外光谱分析[J].烟台师范学院学报(自然科学版),1999,15(4):270-272. |
| 作者姓名： | 李京娜 |
| 摘 要： | 用等离子化学气相淀积法在Ｓｉ基底上制备氮化硅薄膜，通过红外吸收光谱研究分析了薄膜中的成分及键结构。 |
| 关 键 词： | 氮化硅薄膜 PECVD法 红外光谱 制备 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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