| Cu底层对SmCo薄膜磁性能的影响 |
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| 引用本文： | 张峰,黄致新,胡曾,崔增丽,董凯峰,杨晓非. Cu底层对SmCo薄膜磁性能的影响[J]. 华中师范大学学报(自然科学版), 2007, 41(4): 543-545 |
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| 作者姓名： | 张峰 黄致新 胡曾 崔增丽 董凯峰 杨晓非 |
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| 作者单位： | 华中师范大学,物理科学与技术学院,武汉,430079;华中科技大学,电子科学与技术系,武汉,430074 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 , 湖北省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 通过多靶射频磁控溅射系统在玻璃基片上制备了SmCo/Cu磁性薄膜.采用控制变量法优化了磁性层溅射工艺参数,制备出了矫顽力高达2400 Oe的溅射态SmCo面内磁化膜;通过控制溅射Cu底层时的基片温度,薄膜磁化方向有从面内向垂直方向转变的趋势,并制备出矫顽力达到6215 Oe的垂直面内方向的SmCo/Cu薄膜;利用扫描隧道显微镜(STM)分析SmCo薄膜在不同温度下的表面形貌发现,150℃时薄膜的晶粒尺寸较小有利于改善薄膜磁性能.
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| 关 键 词： | Cu底层 磁控溅射 SmCo薄膜 矫顽力 |
| 文章编号： | 1000-1190（2007）04-0543-03 |
| 收稿时间： | 2007-04-21 |
| 修稿时间： | 2007-04-21 |
Effect of Cu underlayer on magnetic properties of SmCo thin films |
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| ZHANG Feng,HUANG Zhixin,HU Zeng,CUI Zengli,DONG Kaifeng,YANG Xiaofei. Effect of Cu underlayer on magnetic properties of SmCo thin films[J]. Journal of Central China Normal University(Natural Sciences), 2007, 41(4): 543-545 |
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| Authors: | ZHANG Feng HUANG Zhixin HU Zeng CUI Zengli DONG Kaifeng YANG Xiaofei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Cu underlayer magnetron sputtering SmCo thin film coercivity |
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