VLSI中热载流子效应失效的事前评估和器件模拟

ＶＬＳＩ的各种失效现象导致器件可靠性的下降，为作好ＶＬＳＩ可靠性研究的事前评估工作，针对导致ＶＬＳＩ失效机理中热载流子效应作用物理模型的计算和器件模拟。介绍热载流子效应的两个模型的数学处理思想；使用集成电路器件模拟软件ＡＴＬＡＳ模拟了该效应。