VLSI中热载流子效应失效的事前评估和器件模拟 |
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引用本文: | 杨文清,周思远.VLSI中热载流子效应失效的事前评估和器件模拟[J].复旦学报(自然科学版),2000,39(B04):41-47. |
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作者姓名: | 杨文清 周思远 |
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摘 要: | VLSI的各种失效现象导致器件可靠性的下降,为作好VLSI可靠性研究的事前评估工作,针对导致VLSI失效机理中热载流子效应作用物理模型的计算和器件模拟。介绍热载流子效应的两个模型的数学处理思想;使用集成电路器件模拟软件ATLAS模拟了该效应。
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关 键 词: | 事前评估 器件模拟 热载流子效应 失效 VLSI |
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