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| 一种无定形SiO2上沉积含氢的非晶硅氧改善硅平面管特性的方法 | |
| 引用本文： | 邹永庆,华厚玉.一种无定形SiO2上沉积含氢的非晶硅氧改善硅平面管特性的方法[J].淮北煤师院学报,1995,16(3):18-20. |
| 作者姓名： | 邹永庆 华厚玉 |
| 摘 要： | 本的是在无定形ＳｉＯ２上沉积含氢的非晶硅氧修复特性较差的硅平面管的方法，该方法可使特性较差的管子起死回生。 |
| 关 键 词： | 晶体管 硅平面管 硅氧非晶态膜 二氧化硅膜 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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