同步辐射辐照下Mo/Si,Pd/Si多层膜的稳定性 |
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作者姓名: | 伍历文 |
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作者单位: | 中国科学技术大学基础物理中心,中国科学技术大学基础物理中心,中国科学技术大学基础物理中心,中国科学技术大学结构分析开放实验室,河海大学数理系,中国科学技术大学国家同步辐射实验室,中国科学技术大学国家同步辐射实验室 合肥230026,合肥230026,合肥230026 中国科学技术大学结构分析开放实验室,合肥230026,合肥230026,南京210023,合肥230026,合肥230026 |
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基金项目: | 国家自然科学基金,合肥国家同步辐射实验室资助课题 |
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摘 要: | 随着众多同步辐射装置的建成和完善,软X射线光学得到迅速发展.由于同步辐射能量密度较高,可能使光束线上的插入元件温升很高.因为辐照对化学反应有促进作用,故此在同步辐射辐照下,作为反射、色散元件的人工周期性多层膜的稳定性是一个值得研究的问
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关 键 词: | 多层膜 同步辐射 辐照 稳定性 硅 钼 |
收稿时间: | 1994-05-25 |
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