| 快速热退火形成硅化钛的研究 |
| |
| 引用本文： | 陈存礼,何胜龙.快速热退火形成硅化钛的研究[J].南京大学学报(自然科学版),1991,27(1):186-190. |
| |
| 作者姓名： | 陈存礼 何胜龙 |
| |
| 作者单位： | 南京大学物理系，南京大学物理系，南京大学物理系，南京固体器件研究所 |
| |
| 摘 要： |
|
| 关 键 词： | 快速热退火 硅化钛 稳压二极管 |
INVESTIGATION OF TITANIUM SILICIDE FORMED BY RAPID THERMAL ANNEALING |
| |
| Chen Cunli He Shenglong Cao Minzhu.INVESTIGATION OF TITANIUM SILICIDE FORMED BY RAPID THERMAL ANNEALING[J].Journal of Nanjing University: Nat Sci Ed,1991,27(1):186-190. |
| |
| Authors: | Chen Cunli He Shenglong Cao Minzhu |
| |
| Institution: | Chen Cunli He Shenglong Cao Minzhu (Department of Physics)Mao Baohua (Nanjing Solid State Devices Research Institute) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Titanium disilicide rapid thermal annealing sheet resistance |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
