| 感光薄膜与二维Bragg光栅制备 |
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| 引用本文： | 赵高扬,张卫华,王哲哲,赵卫,蒋百灵.感光薄膜与二维Bragg光栅制备[J].自然科学进展,2007,17(2):276-280. |
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| 作者姓名： | 赵高扬 张卫华 王哲哲 赵卫 蒋百灵 |
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| 作者单位： | 西安理工大学材料科学与工程学院，西安理工大学材料科学与工程学院，西安理工大学材料科学与工程学院，中国科学院西安精密光学机械研究所，西安理工大学材料科学与工程学院 西安 710048，西安 710048，西安 710048，西安 710068，西安 710048 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 微细的二维Bragg光栅在光信息领域有重要应用,传统的干法或湿法蚀刻在高密度格子制备方面有很大难度,研究合成了具有紫外感光性的含锆溶胶,进一步在硅和石英基板上制备了含锆感光性凝胶薄膜,直接利用这种感光性凝胶薄膜,结合激光干涉技术和热处理过程,可在硅基板或石英基板上制备出反射型或透过型二维Bragg格子光栅,X-射线衍射表明,经过热处理后构成格栅的材料为多晶的四方相ZrO2,这类光栅不含有机物,衍射光符合Bragg条件,格子的周期为1μm,格栅线条或栅孔尺寸约0．5μm．
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| 关 键 词： | 二氧化锆 薄膜 感光性 二维格子 激光干涉 |
| 收稿时间： | 2006-02-27 |
| 修稿时间： | 2006-02-272006-07-26 |
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