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| 掺杂Sno_2薄膜研究 | |
| 引用本文： | 李谟介,周冬祥.掺杂Sno_2薄膜研究[J].华中师范大学学报(自然科学版),1988(1). |
| 作者姓名： | 李谟介 周冬祥 |
| 作者单位： | 华中师范大学应用物理研究所，华中师范大学应用物理研究所 物理系83级学生 |
| 摘 要： | 在SnO_2薄膜的淀积过程中,适量掺F能够降低薄膜的电阻值。获得的最低膜电阻值为3.1Ω/□。重掺F还可以提高薄膜的可见光透过率。 |
| 关 键 词： | SnO_2薄膜 透明导电膜 掺F 掺S_b |
STUDY ON DOPED SnO_2 THIN FILMS |
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| Li Mojie Zhou Dongxiang.STUDY ON DOPED SnO_2 THIN FILMS[J].Journal of Central China Normal University(Natural Sciences),1988(1). | |
| Authors: | Li Mojie Zhou Dongxiang |
| Institution: | Applied phys. Research Instute |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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