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| 用于摄制光学码盘的双高斯型投影物镜的设计 | |
| 引用本文： | 迟泽英.用于摄制光学码盘的双高斯型投影物镜的设计[J].南京理工大学学报(自然科学版),1984(1). |
| 作者姓名： | 迟泽英 |
| 摘 要： | 本文讨论了应用于摄制大型、高精度光学码盘的双高斯型光刻投影物镜的设计特点与合理方案。根据使用的特殊要求,本投影物镜设计的主要特点是:在保证给定的象质要求和较大的相对孔径(D/f’=1/2.5)的前提下,较好地实现了全视场照度的均匀一致性,边缘视场的线渐晕系数K_D达到0.85(对应的面渐晕系数Ks达到0.8)。设计中重视了经济性与工艺性,立足于工厂的现有条件。所设计的物镜自投入生产以来,已取得了良好的经济效益 |
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