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| 双端石英音叉力敏传感器的原理与设计 | |
| 引用本文： | 岳书彬,孙秀英,秦自楷,刘迎春,丁福玲.双端石英音叉力敏传感器的原理与设计[J].山东大学学报(理学版),2000,35(3):282-288. |
| 作者姓名： | 岳书彬 孙秀英 秦自楷 刘迎春 丁福玲 |
| 作者单位： | 1. 山东大学实验中心,山东,济南,250100 2. 航天工业总公司第三研究院,北京,100074 3. 烟台东华石英电子厂,山东,烟台,264000 |
| 摘 要： | 对双端石英音叉横向弯曲振动的原理、力频特性、激励方式、电极的设置、制备方法及实验结果进行了深入的分析与讨论 .用光刻、化学腐蚀、离子溅射和激光调频等技术在一个石英片上可同时设计和生产出几十个甚至上百个超小型的双端石英音叉 .该音叉作为力敏传感器 ,在压电数字线性加速度计和精密数字天平中有着广泛的应用 |
| 关 键 词： | 石英 双端音叉 横向弯曲振动 力敏传感器 |
| 修稿时间： | 2000-01-20 |
PRINCIPLE AND DESIGN OF THE DOUBLENDED QUARTZ TUNING FORK FORCE SENSOR |
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| YUE Shu-bin,SUN Xiu-ying,QIN Zi-kai,LIU Ying-chun,DING Fu-ling.PRINCIPLE AND DESIGN OF THE DOUBLENDED QUARTZ TUNING FORK FORCE SENSOR[J].Journal of Shandong University,2000,35(3):282-288. | |
| Authors: | YUE Shu-bin SUN Xiu-ying QIN Zi-kai LIU Ying-chun DING Fu-ling |
| Abstract: | The doublended quartz tuning fork force sensor,which is manufactured by photoetching,chemical corrosion,ion beam sputtering and laser frequency regulation etc technique in the ultra clean room,is analysesd and discussed thoroughly for the principle of lateral flexure vibration,force frequancy property,encourage way and electrode configuration,preparation method and test result. |
| Keywords: | quartz doublended tuning fork lateral flexure vibration force sensor |
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