科技短波

超大规律集成电路用硅片在沪制成前不久上海硅材料厂利用本厂和国内现有设备及工艺技术,开展超大规模集成电路用φ200毫米硅片研制,获得成功,并已通过专家鉴定。该项研制为今后上海大直径硅片的发展以及直径200毫米硅片生产线的建设奠定了技术基础。