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HKMG技术全球相关专利分析
作者单位:;1.国家知识产权局专利局专利审查协作河南中心
摘    要:本文从专利文献的角度对金属氧化物半导体场效应晶体管中HKMG技术的发展进行了统计分析,介绍了HKMG技术的专利布局情况,为国内相关行业提供参考。

关 键 词:HKMG  CMOS  栅极漏电流  专利分析

Global Patent Analysis of HKMG Technology
Abstract:
Keywords:
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