| Mn掺杂对Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜介电性能的影响 |
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| 引用本文： | 韦其红,付兴华,侯文萍. Mn掺杂对Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜介电性能的影响[J]. 济南大学学报(自然科学版), 2006, 20(3): 206-208 |
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| 作者姓名： | 韦其红 付兴华 侯文萍 |
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| 作者单位： | 济南大学,材料科学与工程学院,山东,济南,250022;济南大学,材料科学与工程学院,山东,济南,250022;济南大学,材料科学与工程学院,山东,济南,250022 |
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| 摘 要： | 以醋酸盐和钛酸四丁酯为原料，采用溶胶-凝胶工艺在Pt／TiO2／SiO2／Si基片上制备了掺锰Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜。通过X射线衍射和扫描电镜分析研究了薄膜的相结构和形貌，测试了以Pt为底电极、Ag为上电极的MFM电容器的介电性能。研究结果表明：掺锰Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜较未掺杂的Ba0．5Sr0．5TiO3薄膜介电常数高、介电损耗降低。介温谱表明在居里温度附近发生弥散型相变，且居里温度有向低温方向漂移的趋势。
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| 关 键 词： | 钛酸锶钡 锰元素 X射线衍射 介频谱 介温谱 |
| 文章编号： | 1671-3559(2006)03-0206-03 |
| 修稿时间： | 2005-09-13 |
Effect of Mn-doping on the dielectric behavior of Ba0.5Sr0.5TiO3 thin films |
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| WEI Qi-hong,FU Xing-hua,HOU Wen-ping. Effect of Mn-doping on the dielectric behavior of Ba0.5Sr0.5TiO3 thin films[J]. Journal of Jinan University(Science & Technology), 2006, 20(3): 206-208 |
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| Authors: | WEI Qi-hong FU Xing-hua HOU Wen-ping |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | barium strontium titanate Mn X-ray diffraction dielectric constant-frequency dielectric constant-temperature |
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