| 共路移相剪切干涉测量仪的研制 |
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| 引用本文： | 刘晓军,章明,李柱.共路移相剪切干涉测量仪的研制[J].华中科技大学学报(自然科学版),1999,27(3). |
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| 作者姓名： | 刘晓军 章明 李柱 |
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| 作者单位： | 1. 华中理工大学,机械科学与工程学院
2. 中原大学,机械系 |
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| 摘 要： | 介绍一种用于非球面面形测量的剪切干涉仪．仪器采用新型剪切发生器，可实现完全共光路和分步相移干涉，其结构简单，有较好的抗干扰性、稳定性和可靠性．实验结果表明，仪器重复性达到λ／５０．
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| 关 键 词： | 共光路 移相 剪切干涉仪 非球面测量 |
| 修稿时间： | 1998-10-13 |
A Common-Path Phase-Shifting Shearing Interferometer |
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| Liu Xiaojun,Chang Ming,Li Zhu.A Common-Path Phase-Shifting Shearing Interferometer[J].JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE,1999,27(3). |
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| Authors: | Liu Xiaojun Chang Ming Li Zhu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | common path phase shifting shearing interference wavefront measurement |
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