| PLT15薄膜热释电红外传感器的研制 |
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| 引用本文： | 曾亦可,刘梅冬,绕韫华. PLT15薄膜热释电红外传感器的研制[J]. 华中科技大学学报(自然科学版), 1999, 27(6): T15 |
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| 作者姓名： | 曾亦可 刘梅冬 绕韫华 |
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| 作者单位： | 华中理工大学电子科学与技术系 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划资助 |
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| 摘 要： | 用射频磁控溅射法在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳｉＯ２／Ｓｉ（１００）结构衬底上沉积了高度Ｃ轴取向Ｌａ改性的ＰｂＴｉＯ３（ＰＬＴ１５）薄膜．研究了ＰＬＴ１５薄膜的电晕极化方法，用此方法同时对多个热释电敏感单元进行了极化．利用ＰＬＴ１５薄膜制备了热释电红外传感器，薄膜厚度是２μｍ，真空蒸发的Ｎｉ－Ｃｒ电极面积为１．２ｍｍ×１．０ｍｍ，敏感元下的Ｓｉ（１００）基片用热ＫＯＨ和ＥＰＷ进行刻蚀．用所设计的热释电系数测试系统对ＰＬＴ１５薄膜样品进行了测试，研究了其热释电特性．测试结果表明，ＰＬＴ１５薄膜样品的热释电电流ｉｐ平均为２．１×１０－１１Ａ，而对应的热释电系数ｐ为２．５２×１０－８Ｃ·（ｃｍ２·Ｋ）－１．这类薄膜很适合制备红外传感器
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| 关 键 词： | 射频磁控溅射 薄膜 热释电性 红外传感器 |
| 修稿时间： | 1998-12-02 |
Preparation and Investigation of the Pyroelectric Infrared Sensors Made of PLT15 Thin Films |
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| Zeng Yike,Liu Meidong,Rao Yunhua. Preparation and Investigation of the Pyroelectric Infrared Sensors Made of PLT15 Thin Films[J]. JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE, 1999, 27(6): T15 |
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| Authors: | Zeng Yike Liu Meidong Rao Yunhua |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | rf magnetron sputtering thin fims pyroelectric characteristics infrared sensors |
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