C—t法直接测定体产生寿命及表面产生速度

本文从耗尽层近似出发,推导出与pierret—C-t方程在形式上相同的方程,它不仅能求出少于产生寿命,而且比pierret的方程还能多求出表面产生速度,数学处理简单,计算结果准确,可作为器件的质量分析和工艺监控的手段。