| 液晶显示器的替代ODS清洗技术研究 |
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| 引用本文： | 刘建强,李玉香,李强,宗福建,肖洪地,马洪磊. 液晶显示器的替代ODS清洗技术研究[J]. 山东大学学报(理学版), 2004, 39(6): 105-107 |
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| 作者姓名： | 刘建强 李玉香 李强 宗福建 肖洪地 马洪磊 |
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| 作者单位： | 山东大学,物理与微电子学院,山东,济南,250100;国家电子元器件清洗技术研究推广中心,山东,济南,250100;山东长城电子清洗科技有限公司,山东,济南,250100 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 (60 1760 3 2 )，山东大学跨学科预研基金，山东大学青年科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 液晶显示器行业目前一般采用ODS溶剂清洗．对一种新型水基替代ODS清洗技术进行了研究。利用X射线光电子谱的测试方法，比较用两种清洗技术清洗过的样品，结果表明，新型替代清洗技术优于传统ODS清洗技术．
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| 关 键 词： | 液晶显示器 替代ODS 清洗技术 X射线光电子谱 |
| 文章编号： | 1671-9352(2004)06-0105-03 |
| 修稿时间： | 2004-08-25 |
Study on the substitute-ODS cleaning technology of the liquid crystal display |
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| LIU Jian-qiang ,,LI Yu-xiang ,,LI Qiang,ZONG Fu-jian ,,XIAO Hong-di , , MA Hong-lei . Study on the substitute-ODS cleaning technology of the liquid crystal display[J]. Journal of Shandong University, 2004, 39(6): 105-107 |
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| Authors: | LIU Jian-qiang LI Yu-xiang LI Qiang ZONG Fu-jian XIAO Hong-di & MA Hong-lei |
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| Affiliation: | LIU Jian-qiang 1,2,LI Yu-xiang 1,2,LI Qiang3,ZONG Fu-jian 1,2,XIAO Hong-di 1,2 & MA Hong-lei 1,2 |
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| Abstract: | The liquid crystal display used to be cleaned with ODS. A new aqueous substitute-ODS cleaning technique is reported. The cleaning effects with two techniques are compared with each other by X-ray photoelectron spectra. The results show that the aqueous substitute-ODS cleaning technique is better than the traditional ODS cleaning technique. |
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| Keywords: | liquid crystal display substitute-ODS cleaning technology XPS |
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